北京科技大学张跃院士团队在国家自然科学基金项目资助下,针对金属-二维半导体接触问题,创新性地提出了原子层键合(Atomic layer bonding,ALB)的原创学术思想。通过精准去除二维半导体材料二硫化钼表面的单层硫原子并直接沉积金属电极材料,构筑了稳定的过渡金属单原子层与金属电极单原子层间的接触界面。[1]
该技术实现了电子结构和晶格结构的精准调控,成功构筑出兼具强能带耦合和高键合强度的原子层键合接触界面。由此,二维半导体器件获得了逼近理论接触极限、低至70 Ω μm的接触电阻和高达400℃的热机械稳定性,满足了国际半导体器件与系统技术路线图(IRDS)中高性能电子器件的应用要求。[1]
此项研究成果于2025年11月21日在线发表在《科学》(Science)期刊,首次实现了二维半导体材料与金属电极的原子层键合,为推动二维半导体器件从实验室向规模化制造发展提供了关键技术支撑。[1]