ASM(L)和电子束光刻
2021-02-01 12:41

ASM(L)和电子束光刻

这篇是上一篇《LAM和电子束光刻》的姊妹篇:关于创新、勇气、运气和经营管理矛盾交织的故事。本文来自微信公众号:金捷幡(ID:jin-jiefan),作者:金捷幡,头图来自:ASM



《光刻巨人》里有一个遗憾,就是对创始人Arthur Del Prado先生被迫退出ASML没有心理描写。


如果读者有机会看一本关于他50年创业征程的厚达900多页的书Fortunes of High Tech,将会感叹Del Prado先生的一路坎坷。


今天ASM International(ASMI)市值106亿欧元,


ASM Pacific(ASM PT)市值465亿港币;


从ASM出走的ASML市值2226亿美金,


BESI(含前ASM Fico)市值45亿欧元。


这些神迹一样的数字,背后又有怎样的故事呢?



荷兰ASM(先进半导体材料)公司的早期生意也是从代理开始,“贸工技”并没有什么可指摘的。


1970年ASM的CVD创新带来黄金的1980年代上半期,这也是ASML诞生的物质基础。在80年代中期,ASM是全球罕见的同时拥有光刻、沉积、离子注入和各种封装设备的全系列半导体服务商。


而随后资金的匮乏和短视的投资者给了Del Prado先生无尽的压力和烦恼。


Del Prado先生骨子里的创新原动力,和股东要求短期的价值回报产生了激烈的冲突。


半导体行业的风雨动荡,使得ASM从80年代后期到00年代一路颠簸。除ASML外,他还卖掉了离子注入(ASM Ion Implant)和芯片级封装(ASM Fico)子公司。


接下来,我们重点看一下2007~2008金融危机时的ASM公司。



ASM Pacific是ASM的亚太分支,包含中国和东南亚地区,而日本和韩国由于半导体强大所以有单独的分支来负责。


考虑到亚洲的特殊文化,Del Prado先生从一开始就让本土人主导管理,而结果是成功的。


那时候中国半导体还相对落后,所以ASM Pacific的主要目标是后端封装和贴片设备。这带来一个扎实的落脚点,并一路成功走到今天。


而总部的ASM International,却由于产品竞争力落后于AMAT等公司,陷入生存的困境。


ASM的投资者要求剥离赚钱的ASM Pacific,他们其实希望亏损的总部早点关掉。但Del Prado希望Pacific补贴总部的半导体前端设备研发和运营。


而且Del Prado手中的一件大杀器正等待开花结果。



由于各种PE股东的压力,2008年老Prado选择退休,但他力主传位给儿子小Prado。这在东亚天经地义的做法,却遭到投资机构的强烈反对,认为此举违反现代公司治理原则。


由于半导体行业需要不断烧钱引入外部投资,Prado家族当时只拥有ASM约35%的股份了。


股东Fursa(原纽约梅隆旗下的对冲基金)因为也投资了AMAT,两家一起配合质疑Prado父子的管理能力,并要求分拆公司出售。


当年被迫放弃ASML的阴影使得Prado父子奋起反抗,成立基金会暂时保住了公司控制权。


然而,事情没有结束。


AMAT随后出价仅4亿~5亿美元试图购买ASM最核心的沉积业务。这时是2008年,大家还记得那时半导体业崩盘到什么情况吧。


幸运的是,正当ASM考虑断臂求生时,似乎AMAT觉得在金融危机中花钱有所不妥撤回了报价。


但是,救命钱从哪里来呢?



这要说到前文提到的大杀器了。


这就是ASM已经研发了10年的原子层沉积技术(ALD)


45nm以下的先进制程中,传统的氧化薄膜走到漏电的极限。而应用ALD的High-K金属栅(HKMG)漏电少了一个数量级。


ALD是ASM手里的王炸,但现在牌拿在手里还炸不了,因为英特尔的主流量产还在65nm。


由于High-K/ALD是延续上个10年摩尔定律的重要技术,在2009年英特尔给了ASM救命钱。但是这个投资是保密的,所以几乎没有机构跟投,仍缺钱的ASM晶圆前端裁员1/4。


Fursa等外部投资者还在董事会在干扰公司运营,他们把控制权官司打到2012年。最高法院最终支持了Prado父子,小Prado也证明了自己是个合格的管理者。


直到2013年,靠ASM Pacific后端业务输血近10年后,ASM的前端业务才恢复了盈利。


因为High-K终于成为主流。ASM International在巨头夹攻中开辟了新的战场并一路展翅高飞。



老Del Prado是否功成名就退隐江湖了呢?


并没有。


退休后他继续把毕生所得投入了主攻电子束光刻的Mapper Lithography,掀起了对“逆子”ASML的最后一战。


我们提到过,EUV在头十几年并不被看好,即使到了2015年包括英特尔台积电在内的各路专家也没觉得它能用。


Mapper公司是荷兰代尔夫特大学的嫡子,看过《光刻巨人》的朋友应该知道这相当于荷兰的清华。


Mapper的目标是用13260支电子束来提高“光”刻效率。Mapper不仅得到大量政府补贴,台积电也有投资并积极地在Fab配合试验。


浸入光刻先驱林本坚先生,是Mapper的拥护者。


检测和制程控制之王KLA,也是Mapper的投资机构。


鉴于这么多大佬都认为电子束光刻可行,我们也不能想当然认为EUV是唯一的出路。只是电子束要烧多少钱才能做出HVM产品和形成产业生态,没有人知道。


2016年老Del Prado同志与世长辞。Mapper失去了重要的行业影响大咖,他们的样机只做到2000支电子束并且存在很多问题。


在EUV前景逐渐明朗的情况下,努力了近20年的Mapper公司难以继续融资,并在2018年圣诞节后宣布破产。


仅一个月后,ASML迅速收购了Mapper的IP资产和收编了大多数研发人员,并关闭了这条产品线。虽说ASML也有电子束检测设备,但此举更像是对EUV曾经对手的斩草除根。



今天,挂着“ASM”Logo的ALD设备生产的CPU,躺在我们大多数人的电脑或手机里。


ASM PT分拆独立的声音一直不绝于耳。作为一家扎根中国的香港上市公司,她为中国经济建设也做出了突出的贡献。


从二战日本集中营生还的Arthur Del Prado先生,去世后的遗产仍然在影响着我们的生活。


这篇小文只是抛砖引玉,在半导体行业的传奇英雄多如璀璨星辰。


本文来自微信公众号:金捷幡(ID:jin-jiefan),作者:金捷幡

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