外媒曝上海国资背景企业计划今年产5台国产浸没式DUV光刻机,引发资本狂欢,折射出中国光刻机二十年布局的突破与尚存的差距。 ## 1. 传闻引发资本市场剧烈波动 The Information 2026年7月27日报道:位于上海的国资背景企业计划今年量产约5台国产浸没式DUV光刻机,2027年扩至20台,首批年内交付国内头部晶圆厂测试。消息传出后ASML单日大跌8.4%,A股光刻机板块批量涨停,持股上海微电子10.779%的张江高科直接封死涨停。市场凭借标签锁定制造商为上海微电子,本次涨停本质是对国产光刻机突破的预期交易。 ## 2. 张江的二十年布局与上海微电子的渐进路径 1999年上海提出“聚焦张江”,2002年上海微电子在张江成立,选择从低门槛领域“以战养战”打磨技术:2009年推出首台先进封装光刻机,2018年90纳米前道光刻机通过验收,2022年发运国内首台2.5D/3D先进封装光刻机。张江已汇聚近700家集成电路企业,产业规模破2000亿元,占全国近两成,完整产业生态为光刻机迭代提供了产线磨合基础。张江高科2016年出资2.23亿元投资上海微电子,自身也完成了从“园区房东”到“产业股东”的转型。 ## 3. 国产浸没式DUV的突破意义与现存差距 国产浸没式DUV若通过产线验证,就是中国芯片产业在卡脖子环节实现0到1的突破,打破了ASML在该领域近乎无对手的格局。目前差距仍十分明显:2025年ASML售出131台浸没式DUV,国产今年仅计划产5台,且性能、制造质量和可靠性仍落后于ASML。高端光刻机必须进入真实产线才能迭代,此次0的突破给了中国产业持续试错升级的选项,但最终能否立足要由良率、成本等商业指标决定。
国产光刻机突传年产5台,张江高科终于等到了
2026-07-28 15:55

国产光刻机突传年产5台,张江高科终于等到了

本文来自微信公众号: 金角财经 ,作者:罗夏



一台还没有正式走进晶圆厂的中国光刻机,已经先在资本市场上掀起了一场海啸:


先将全球光刻霸主ASML的股价砸出深坑,又把A股的张江高科瞬间推上了涨停板。



7月27日,据《The Information》报道,一家位于上海、具有国资背景的企业,已经开始制造国产浸没式DUV光刻机,计划今年生产约5台,2027年增加到20台。首批设备预计年内交付中芯国际、华虹半导体和长鑫科技,接受测试并尝试导入产线。


消息传出后,ASML股价大跌8.4%,创下近期最大单日跌幅之一。


次日A股开盘,资金迅速扑向光刻机概念。捷众科技开盘仅一分钟便直线拉升,斩获“30cm”涨停;蓝英装备、波长光电双双锁定“20cm”涨停;张江高科、永新光学、海立股份、东方嘉盛等个股更是纷纷封死涨停板。


耐人寻味的是,外媒报道全程未提及制造商的具体名字,而这批设备最终能否叩开商业产线的大门,依然是个未知数。


但仅凭“上海”、“国资背景”、“浸没式DUV”这几个极具指向性的标签,市场已经迅速锁定了上海微电子,并顺藤摸瓜将持有其10.779%股权的张江高科,顶上了这场资本狂欢的舞台中央。


一家低调至极、极少公开披露技术进展的未上市公司,凭什么能让千亿光刻巨头陡然失色,又让一家园区开发企业一时风光无两?


这背后,既有张江高科十年前投下的2.23亿元,也有上海花了二十多年布下的一盘棋。


张江高科先涨停了


资本市场之所以精准锁定了张江高科,依靠的是一条清晰无比的股权线索。


张江高科自己不生产光刻机,主营业务是产业园区开发、物业租赁和科技投资。过去,它更像张江科学城的“房东”;这些年,随着手里的科技企业股权越来越多,它又逐渐有了另一重身份:张江产业生态的投资平台。


时间拉回到2016年,张江高科全资子公司张江浩成出资2.2345亿元投资上海微电子,获得后者10.779%的股权。此后,这笔股权一直没有增持,也没有减持。


作为国内前道光刻领域的焦点企业,上海微电子总部坐落于上海,且身兼国资背景。因此,当海外报道猝不及防地揭露“一家上海国资背景企业开始制造浸没式DUV光刻机”时,嗅觉敏锐的敏捷资金,瞬间顺着这条股权纽带扑向了张江高科。


不过,报道没有点名上海微电子,公司也没有公开确认。换句话说,张江高科今天的涨停,交易的仍然是一种猜测。


但这种猜测并非毫无基础。早在2025年12月底,中国政府采购网就曾披露过一则重磅公告:上海微电子以约1.1亿元的价格,成功中标一台SSC800/10步进扫描式光刻机。消息一出,张江高科盘中应声大涨超8%。



招投标文档显示,该设备要求分辨率不高于110纳米,套刻精度不高于15纳米。专家论证意见给出了极其关键的结论:在这一特定技术指标下,全中国仅有上海微电子一家具备研发与制造能力。


这笔亿元订单至少证明,上海微电子已经能够交付特定的前道步进扫描设备。


但理性看待,去年的SSC800/10,不能直接等同于此次传闻中的浸没式DUV。前者主要对应90纳米及以上工艺研发,后者的技术等级和产线要求都要高得多。


旧订单无法替新传闻作证,却让市场看到了上海微电子真实的设备能力。张江高科十年前买下的,也不只是一张依靠概念支撑的股权凭证。


由于上海微电子尚未上市,每当国产光刻机出现新消息,持有其近11%股权的张江高科,总会成为A股资金最先按下的那个按钮。


而要理解这笔股权为什么如此受追捧,还得回到2000年前后的上海。


上海押了20多年的“冷板凳”


在互联网狂飙突进、资本追逐快钱的年代,上海却把极为沉重的资源,押给了最烧钱、见效最慢的集成电路。


1999年,上海提出“聚焦张江”。此后,集成电路、软件和生物医药成为张江重点发展的产业,土地、资金、人才和相关企业随之向园区集中。


上海微电子便诞生在这轮布局中。


2002年,公司在张江成立。那时,全球高端光刻机市场已经被ASML、尼康和佳能占据。越往先进制程走,技术壁垒越高,留给后来者的空间越小。


光刻机的难点,也远不止把图案缩小后投到晶圆上。工作时,晶圆和掩模版要高速运动,设备还必须保持纳米级同步。光源、镜头、工件台、测量系统和控制软件中的任何一个环节出现误差,最后损失的都可能是整批晶圆。


对刚刚成立的上海微电子来说,直接挑战最先进设备并不现实。它选择了一条更为务实且极其考验定力的生存路径:以战养战。


公司决定从先进封装、LED及显示面板等商业化门槛相对较低的领域切入。这些设备虽无法与最顶尖的前道制造相提并论,却带来了源源不断的真实订单与造血能力,更帮团队打磨了精密运动控制、调焦调平、光学系统及整机集成的硬核底座。


凭借这套打法,上海微电子的破局节点依次展现:


2009年,首台先进封装光刻机问世;2013年,面向LED领域的步进光刻机交付;


2015年,高分辨率平板显示光刻机顺利出货;2016年,首台前道扫描光刻机交付;


2018年,90纳米前道光刻机项目正式通过验收;


2022年,中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运,成功打


入高性能计算与AI芯片的关键封测阵地。



上海微电子的发展路径并不轰动,甚至显得有些慢。它先在能够交付和赚钱的领域站稳脚跟,再一点点向晶圆制造最核心的“无人区”艰难蚕食。


这种长达二十年的耐心,极大地仰赖于张江独特的产业生态。


经过二十余年的深耕,张江已汇聚近700家集成电路企业,产业规模破2000亿元,贡献了上海的半壁江山与全国近两成的份额,构建起覆盖设计、制造、设备、材料与封测的完整闭环。


光刻机拥有数以万计的精密零件,它的迭代必须依赖真实的晶圆产线反复“喂养”和磨合。只有当供应商、设备商与晶圆厂在物理空间上足够近,工程师才能在最短时间内定位故障、迭代升级。


从这个角度看,张江高科2016年投向上海微电子的2.23亿元,并非一笔偶然押中热点的财务投资。


它更像张江产业生态自然长出来的一部分:园区搭建舞台,投资平台提供长效耐力。张江高科也在这个漫长的陪伴中,悄然完成了从“收租房东”到“产业股东”的蜕变。


十年磨一剑。如今一则国产浸没式DUV的传闻,让这笔长期躺在资产负债表里的沉寂股权,骤然被激动的资本市场聚光灯照亮。


只不过,股权价值可以在一天内被涨停板重新计算,光刻机的价值却只能在生产线上得到确认。


摆脱ASML还有多远


浸没式DUV虽不及EUV先进,却依然是芯片制造中的关键设备。


EUV凭借13.5纳米的极紫外光总揽最尖端制程,至今仍被ASML独家垄断;而DUV使用193纳米深紫外光,配合多重曝光等复杂工艺,同样拥有向更先进制程延伸的潜力。


对于中国晶圆厂来说,浸没式DUV的意义尤其特殊。


在EUV被全面封锁、高端DUV受限的背景下,国产浸没式DUV一旦通过产线验证,就意味着本土芯片产业终于在最卡脖子的环节上实现了从0到1的突破。


但目前双方的差距依然明显。


按照报道,国产设备今年计划生产约5台,2027年增加到20台。ASML在2025年共销售279台DUV设备,其中约131台为浸没式设备。


5台对131台,显然不在同一个量级。


报道同时提到,国产设备在性能、制造质量和可靠性上仍落后于ASML。即使交付中芯国际、华虹和长鑫科技,也要经过数月测试,才能判断是否具备进入生产线的资格。


商业晶圆厂从不为情怀埋单,决定采购的永远是商业账本。


它们要看一台设备每小时能够处理多少片晶圆,长时间运行会不会频繁故障,多次曝光能否保持套刻精度,零部件寿命有多长,维修速度够不够快。最终算下来,使用国产设备的良率和成本能不能被接受,才是最关键的指标。


因此,5台国产设备短期内很难抢走ASML多少订单,更谈不上撼动其在全球高端光刻机市场的地位。


那么,ASML的股价为何应声下挫?


资本市场恐慌的,显然不是今年少卖了5台设备,而是这个“0的突破”背后,意味着中国晶圆厂从此拥有了一个可以持续试错、磨合与演进的“第二选项”。


高端装备制造的规律极其残酷:不进产线,永无迭代。光刻机只有真正嵌入真实的生产线,才能源源不断地汲取工程师、供应商和晶圆厂联调的反馈数据。


第一代设备或许效率低下、稳定性不足,但只要能留下来,就拥有了提升良率、摊薄成本的希望。


ASML的领先优势不会因为5台设备消失。但在中国市场,它过去几乎没有对手的领域,可能开始出现裂缝。


张江高科已经用一个涨停,为那10.779%的股权给出了新定价。上海微电子要让这笔定价站得住,还得让晶圆厂愿意把昂贵的生产线和宝贵的良率交给一台国产设备。


5台之后能不能有20台,20台之后能不能变成持续订单,将决定这次突破最终能走多远。


国产光刻机走到今天,讨论也该从“能不能造”,推进到“能不能用、用了能不能赚钱”。


至少这一次,资本市场已经提前押注。


参考资料:


1.路透社援引The Information《中国开始制造国产浸没式DUV光刻机》(2026-07-27)


2.上海证券报《光刻机概念爆发,多股“一字”涨停》(2026-07-28)


3.张江高科2016年对外投资公告及投资者互动回复(投资上海微电子2.2345亿元、持股10.779%)


4.中国政府采购网、上海证券报《上海微电子中标1.1亿元步进扫描式光刻机项目》(2025-12-25)


5.上海电气集团、中国新闻网《中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运》(2022-02-08)


6.上海市科委、人民网关于张江集成电路产业发展资料(产业规模、企业数量及全国占比)


7.ASML《2025年年度报告》(DUV、浸没式DUV及EUV设备销量数据)

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