应用材料的故事:ALD魔咒
2022-06-01 11:47

应用材料的故事:ALD魔咒

本文来自微信公众号:金捷幡(ID:jin-jiefan),作者:金捷幡,原文标题:《AMAT的故事(2)--ALD魔咒》,前篇:《应用材料背后:三个男人的故事》,头图来自:视觉中国


一、AMAT的版图扩张


半导体设备领袖应用材料公司(AMAT)在收购东京电子(TEL)失败后,并没有气馁。不断扩张版图弥补短板,仍是AMAT的重要目标。


下一个猎物,是Kokusai Electric(KE)


Kokusai在日语是“国际”的意思,“国际电信”是日本侵华时期成立的官方无线电设备公司,它在2000年和日立电子合并成日立国际电气(Hitachi Kokusai Electric)


在主搞广播通信的日立国际里,有个很诡异的部门,专做半导体薄膜


这个部门的LPCVD(tube CVD)和氧化/扩散业务非常强,而AMAT在相关领域非常弱鸡,拿下日立这个部门,将如虎添翼。


但这个事怎么操作呢?日立没说很想卖呀。


这就需要私募来缝合了。


二、KKR勇斗艾略特


2017年初,KKR不断购入日立国际的股票,然后在4月份和日立达成协议,分拆薄膜部门22亿美元单独拿下,这就是后来的KE。


没想到,美国另一家激进对冲基金巨头艾略特的刀也拔了出来。


艾略特(Elliott)虽然规模小一些,但是其著名的歌者老板(Paul Singer)玩狠的声名超过了KKR。艾略特一度持股接近9%,迫使KKR把收购价从22亿美元提高到30亿美元。


虽然没有确切证据说明AMAT站在KKR背后,但KKR能坚持高价完成收购,然后仅一年就以35亿美元转手KE给AMAT,说两者没关系我是不信的。


爱尔兰、日本和韩国迅速就批准了AMAT这项并购。但AMAT等了两年,也没等到最后一个批准:


中国没同意。


三、AMAT的隐含损失


适逢2019年特朗普对华为的打击,使得中国对美系厂商的并购特别谨慎。国内相对比较优秀的设备商如北方华创、沈阳拓荆等的主攻方向也是做薄膜(沉积和炉管等),和KE重合度还是挺高的。


直到2021年3月底订婚合约到期,我国官方也没答复,AMAT只得宣布并购失败。


AMAT通过拿下KE反攻内存设备市场的目标再次受挫。另外一个隐含的损失,则是本文的标题:


原子层沉积(ALD)


ALD是在表面铺一层薄薄原子的技术,对比传统的CVD、溅射、蒸镀等技术,薄膜厚度极其均匀而且缺陷小,其应用则越来越广泛。


四、痛苦煎熬的ASM


在《ASM和电子束光刻》一文中提到过,ALD是ASM International闪耀归来的关键。


我也说到2009年英特尔才给了ASM救命钱,到2013年ALD大量出货使得ASM的前端业务(WFE)才恢复了盈利。


那么,在半导体行业引入新技术的痛苦阵痛阶段,ASM曾如何自救呢?


在2007年和2008年,ASM把自己珍贵的ALD技术授权给了KE和TEL,授权期长达10年。


这有点像引狼入室。但一方面那些授权费帮ASM熬到了2009年,另外一方面ASM也需要日本巨头共同帮助ALD配套成熟推向市场。DRAM厂商比英特尔更早引入ALD,如果没有它们吃螃蟹,英特尔的High-K可能会进一步延迟。


五、ASM的代价


ASM目前2/3的营业额来自ALD,其市场需求仍在快速增长中,ASM的ALD遥遥领先占其中约一半的份额。


毕竟ALD总TAM相对还是有限,所以守住ALD是ASM的底线。


ALD设备可粗分成两大类:单片晶圆处理和多片晶圆处理。前者多用于高端逻辑芯片,对精度控制极高;后者多用于内存芯片(DRAM和NAND)


先进制程中的单片ALD设备,ASM占绝对领导地位。而对于多片批处理ALD,TEL和KE则优势明显,日系ALD一次能处理100片晶圆甚至更多。


三星的内存产线曾经满满的全是KE的ALD,但在日韩贸易战后,开始扶植本土的Eugene。Hynix同样全力扶植韩系的Jusung和Wonik IPS。


不能不联想的是,韩系设备商的技术渊源,会和日本不无关系。


那么在四面围攻下,ASM的ALD剩下的王牌是什么呢?


六、ASM的专利


有人突然想到:对啊,2017年ASM对KE的十年技术授权不是到期了么。


确实,在2017年ASM立马对KE发起技术侵权的仲裁申请,两年后KE(KKR)支付1.15亿美元和解。


在KE的官网上,你甚至看不到ALD这三个字,只能看见多片“批处理设备”。这也许是对ASM权威的尊重,也许这是和解的一部分吧。


下两图显示了ASM在ALD专利组合强度上仍遥遥领先。



(Chart Credit: LexisNexis)


七、抵抗AMAT的入侵


我们在前文里提到,AMAT的关联私募Mellon/Fursa曾在次贷危机期间试图入主ASM,自己也亲自下场,不得不感叹AMAT对ALD的前瞻判断。


小del Prado(Chuck同志)在2007年临危受命,在公司最艰难的情况下,抵御了一波又一波顽强攻击。对方不断泼脏水和购买股票试图入主董事会罢免他,法院判他败诉他仍咬牙坚持,直到n年后精疲力竭打到最高法院。


在公司不断失血的过程中,ASM WFE挥泪裁员1/4以及拆公司和卖技术授权,如果不是对自家企业的爱和坚定信念,一般人肯定扛不住这种压力一卖了之。


老del Prado不服输的血液流淌在儿子的血管里。苦熬5年后,ASM的ALD羽翼渐丰随即展翅高飞。从Chuck接棒公司到今天的ASM International股价翻了100倍,其百亿欧元的市值已经不再是AMAT可以轻易搞定的了。


ALD就像个魔法项链。财大气粗的AMAT反复追求戴着这个项链的各位气质美女(ASM、TEL和KE),聘礼都下了好多次,就是娶不进家门。


本文来自微信公众号:金捷幡(ID:jin-jiefan),作者:金捷幡

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